미분방정식과 반도체공정

1. 정상상태

2. 픽의 확산 제1법칙

3. 딜-그로브 모델

4. 추가탐구

5. 느낀점

산화 공정 성장 모델은 딜과 그로브가 제시한 딜-그로브 모델을 따르고 있다.

이 모델에서 성장 과정은 크게 2가지가 있다.

1) 확산
2) 화학반응

산화반응은 O2나 H2O가 형성된 SiO2 표면을 파고 들어가서 Si 와 만나야 일어난다.

그래서 SiO2를 지나서 Si 까지 도달하기 위해 SiO2층에서 확산이 일어난다.

그리고 나서 SiO2와 Si 계면에서 산화 반응, 즉 화학반응이 일어난다.